제품정보

반도체·디스플레이 산업 발전에 핵심 소재인 전자재료를 개발 공급하고 있습니다.

Electrode Material

Electrode Material은 메모리소자에서 전자를 보관하는 Capacitor의 전극물질로써 Contact 저항이 낮으면서 구조적으로 튼튼한 물질이 요구됩니다. 최근까지는 TiN이 Bottom Electrode로 사용되고 있으나 선폭의 미세화로 Ru 및 Nb 물질이 연구 되고있습니다.

PRODUCT

Ru(EtCp)2

Bis(ethylcyclopentadienyl)Ruthenium

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Ru-4

Ru(η6-p-Cymene)(η4-1,3-cyclohexadiene)

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TBTDETa

(t-butylimido)tris(diethylamido)Tantalum

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TBTEMTa

(t-butylimido)tris(ethylmethylamido)Tantalum

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TDMAT

Tetrakis(dimethylamido)titanium(IV)

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TiCl4

Titanium tetrachloride

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