제품정보

반도체·디스플레이 산업 발전에 핵심 소재인 전자재료를 개발 공급하고 있습니다.

High-k for Capacitor

소자의 미세화에 따라 Capacitor 부피가 적어지고 그에 따른 정전용량 감소를 극복하기 위한 방법으로 High-k 물질을 사용하게 되었습니다. High-k Materials로는 현재 ZrO2 및 HfO2가 많이 사용되고 있습니다.
※ k : 유전상수 (값이 클수록 가질 수 있는 전기용량이 큼)

PRODUCT

A2HP7

Tris(dimethylamido)Zirconium cyclopentadienide

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Cp(Me)CpZr(OEt)2

(cyclopentadienyl)(methylcyclopentadienyl) Zirconium Bis(ethoxide)

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TBTDEN

Tris(diethylamido)(tert-butylimido)niobium(V)

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TEMAHf

Tetrakis(ethylmethylamido)Hafnium

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TEMAZr

Tetrakis(ethylmethylamido)Zirconium

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TMA

Trimethylaluminium

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